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产品名称
ZDM-1 型压阻薄膜真空计
产品描述
ZDM-1型压阻薄膜真空计由单路压阻规与单路电容薄膜规组成,用于1Pa~110KPa之间的压力测量,适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业,包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。
主要技术性能参数
★ 测量范围:压阻规部分:10Pa~110.00KPa 电容薄膜规部分:1Pa~1333.2Pa
★ 测量精度:≤±0.5%FS
★ 测量路数:双路
★ 继电器控制:二组或四路继电器触点输出
★ 电 源:AC220V±10% 50HZ±1 HZ
★ 机箱尺寸:(高×宽×深)99×320×280mm3
★ 模拟量输出:0~5/10V/10mV,0/4~10/20mA
★ 功 耗:20W
★ 使用环境:环境温度0℃~40℃,相对湿度80%(25℃时)以下,无强磁场。
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