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ZDF-5227(5210/5212) Ⅰ/Ⅱ-S型智能复合真空计

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产品描述

  ZDF-5227(5210/5212) Ⅰ/Ⅱ-S型复合真空计由一路或两路电阻单元与一路电离单元组成。用于1.0×105~1.0×10-5Pa(ZDF-5227ⅡS)或1.0×105

  ~1.0×10-4Pa(ZDF-5210ⅡS)或1×105~1×10-8 Pa

  (ZDF-5212IIS)之间的压力测量,适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业,包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。

 

主要性能特点

1、中、英文双操作界面;

2、零点、满度一键式自动调整,自动化程度高、可靠性好;

3、能实现从大气压到高真空自动测量,无需用户干预;

4、RS232、RS485等两种通讯模式可供选择;

5、多波特率选择;

6、Pa、Torr、mBar等多显示单位选择;

7、具有存储可扩展功能;

8、控制点掉电(失电)保护,记忆功能;

此款真空计参数设置简单易操作,是一款高效智能的真空测量和控制产品。

 

主要技术性能参数

★ 规管型号:ZJ-52T、ZJ -27(ZJ-10/ZJ-12)

★ 规管接口:玻璃;金属直口;KF16;KF25;CF35;CF16等不同接口

★ 测量范围:电阻部分:1.0×105

Pa~3.0×103

Pa和1~0.1Pa-----观测范围

3.0×103

Pa~1.0×100

Pa-------测量范围

电离部分:2Pa~1.0×10-5 Pa (ZDF-5227II-S)

20Pa~1.0×10-4 Pa (ZDF-5210II-S)

1×10-1~1×10-8 Pa(ZDF-5212II-S)

★ 测量精度:电阻部分:1~3000Pa范围内,与标准曲线的相对偏差小于

50%;电离部分≤±5%

★ 测量路数:IS型---一路低真空+一路高真空

IIS单---两路低真空+一路高真空

★ 显示单位:Pa、Torr、mBar可自由选择

★ 控制方式:电阻I有2路继电器输出,自动测量部分有6路继电器输出可选;

★ 模拟量输出:0~5/10V,4~20mA可选

★ 通信输出:RS232 或 RS485可选 ,标准MODBUS RTU协议

★ 波 特 率:1200/2400/9600

★ 电离规外控:PLC

★ 电 源:AC220V±10% 50HZ±1 HZ

★ 机箱尺寸:88×440×280mm3

★ 面板尺寸:92×480 mm2

★ 开孔尺寸:88×440 mm2

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