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产品名称

ZDF-5327(5310) Ⅱ-S型智能复合真空计

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产品描述

ZDF-5327ⅡS/ZDF-5310ⅡS型复合真空计由两路热偶单元与一路电离单元组成。用于1.0×103~1.0×10-5Pa(ZDF-5327ⅡS)或.0×103~1.0×10-4Pa(ZDF-5310ⅡS)之间的压力测量,适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业,包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。

 

主要性能特点

  1、中、英文双操作界面;

  2、能实现从低真空到高真空自动测量,无需用户干预;

  3、加热电流一键自动调整功能;

  4、RS232、RS485、带2500V隔离的CAN总线三种通讯模式可供选择;

  5、多波特率选择;

  6、Pa、Torr、mBar等多显示单位选择;

  7、具有存储可扩展功能;

  8、控制点掉电(失电)保护,记忆功能;

  此款真空计参数设置简单易操作,是一款高效智能的真空测量和控制产品。

 

主要技术性能参数

  ★规管型号:ZJ-53B、ZJ -27(10)

  ★ 规管接口:玻璃;金属直口;KF16;KF25;CF35;CF16等不同接口

  ★ 测量范围:热偶部分:1.0×103

  ~1.0×10-1 Pa-----测量范围

  3.0×102

  ~1.0×10-1 Pa------有效范围

  电离部分:2×100

  ~1.0×10-5 Pa(ZDF-5327II-S)

  2×101

  ~1.0×10-4 Pa(ZDF-5310II-S)

  ★ 测量精度:热偶部分:1~300Pa范围内,与标准曲线的相对偏差<±30%;电离部分≤±5%

  ★ 测量路数:两路低真空+一路高真空

  ★ 显示单位:Pa、Torr、mBar可自由选择

  ★ 控制方式:电阻I有2路继电器输出,自动测量部分有6路继电器输出可选;

  ★ 模拟量输出:0~5/10V,4~20mA可选

  ★ 通信输出:RS232 或 RS485可选

  ★ 波特率:1200/2400/9600

  ★ 电离规外控:PLC

  ★ 电源:AC220V±10% 50HZ±1 HZ

  ★ 机箱尺寸:88×440×280mm3

  ★ 面板尺寸:92×480 mm2

  ★ 开孔尺寸:88×440 mm2

  ★ 使用环境:环境温度0℃~40℃,相对湿度80%(25℃时)以下,无强磁场。

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暂未实现,敬请期待
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